近日,頂立科技兩項自主研發(fā)成果通過權(quán)威機(jī)構(gòu)評價,均被認(rèn)定為整體技術(shù)達(dá)到國際領(lǐng)先水平。其中,“天然石墨高溫綠色提純技術(shù)與裝備”通過中國有色金屬工業(yè)協(xié)會科技成果評價,“第三代半導(dǎo)體用高均勻高致密TaC涂層石墨件制備技術(shù)及應(yīng)用”通過湖南省技術(shù)產(chǎn)權(quán)交易所科技成果評價,標(biāo)志著公司在先進(jìn)材料制備領(lǐng)域的創(chuàng)新能力再獲行業(yè)高度認(rèn)可。
突破行業(yè)瓶頸:天然石墨連續(xù)式高溫提純技術(shù)實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化
由頂立科技聯(lián)合五礦石墨、南昌大學(xué)、北京工業(yè)大學(xué)共同開發(fā)的天然石墨高溫綠色提純技術(shù)與裝備,針對傳統(tǒng)濕法提純工藝污染嚴(yán)重、間歇式高溫提純能耗高等行業(yè)痛點(diǎn),成功研發(fā)出連續(xù)式高溫綠色提純技術(shù)與成套裝備。該項目突破了超長作業(yè)空間3000℃級熱場構(gòu)建與保持、長時連續(xù)提純動態(tài)密封與高效排雜等關(guān)鍵技術(shù)瓶頸,實(shí)現(xiàn)了天然石墨高溫提純由間歇式到連續(xù)式的重大突破,在行業(yè)內(nèi)首次實(shí)現(xiàn)了4N5以上天然石墨大規(guī)模連續(xù)化生產(chǎn),為人造金剛石、新一代半導(dǎo)體4N5以上天然石墨穩(wěn)定自主供應(yīng)提供裝備技術(shù)保障。
打破技術(shù)壟斷:TaC涂層助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控
在第三代半導(dǎo)體材料領(lǐng)域,頂立科技聯(lián)合湖南三安半導(dǎo)體、南昌大學(xué)開發(fā)的高均勻高致密TaC涂層石墨件制備技術(shù)及應(yīng)用項目取得重大突破。針對石墨產(chǎn)品傳統(tǒng)TaC涂層工藝中存在的石墨基體純度提升難、高結(jié)合高致密涂層沉積難、高均勻涂層批次穩(wěn)定控制難等技術(shù)難題,通過突破6N以上高純石墨基體提純工藝、高均勻高致密 TaC 涂層制備技術(shù),形成了涵蓋“工藝-技術(shù)-裝備”的TaC涂層石墨件制備成套技術(shù),實(shí)現(xiàn)了高性能TaC涂層石墨件的批量穩(wěn)定制備,為保障國家第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈安全、構(gòu)建雙循環(huán)新發(fā)展格局提供了關(guān)鍵支撐。
TaC涂層構(gòu)件
化學(xué)氣相沉積爐
頂立科技此次兩項國際領(lǐng)先成果的取得,彰顯了公司在高端材料裝備領(lǐng)域的持續(xù)創(chuàng)新能力。未來,頂立科技將繼續(xù)聚焦先進(jìn)材料制備領(lǐng)域,深化“產(chǎn)學(xué)研用”協(xié)同創(chuàng)新機(jī)制,為我國半導(dǎo)體、新能源、航空航天等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)提供更高水平的材料與裝備解決方案,助力實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈自主可控。